試料中での元素分布の変化を分析することは、地質学的プロセスや鉱床の起源を理解するために重要です。SEMにマイクロXRFを追加したデュアルソース(励起源)システムは、主要元素とppmオーダーの微量元素の広範囲にわたるX線元素分布を測定することができます。
右図は異地性の銅鉱床からの試料の広範囲(45 x 30 mm²)マイクロXRF元素マップで、銅(赤)、カルシウム(緑)、マンガン(青)、ケイ素(紫)、塩素(深緑)の元素分布を示しています。さらにこの分析では、元素濃度が低すぎたりピークのエネルギーが高すぎるために通常の電子ビーム励起EDSでは検出できないCoやSrといった微量元素を検出することが可能です。このような情報により、元素分布と鉱物、組織の関連性や鉱床の起源をより深く理解することができます。