这里展示的是来自含金刚石的新西兰金伯利岩(南非,卡普瓦尔克拉顿)的地幔中石榴石和橄榄石的SEM-XRF元素图。各种元素的强度表示样品中存在的某些矿物;例如Ca (绿色)- clinopyroxene;Cr (蓝色)- 铬铁矿;Al(黄色)- 石榴石和 K(橙色)来自交代变质作用。使用 SEM上的 Micro XRF 对薄部分进行分析。样品约3 cm x 2 cm,并以一帧分析。每个像素的全谱图允许进一步的离线处理,比如添加元素、从图中提取成分谱图、成分量化或自动物相标定。
微区XRF数据具有识别样品中高能X射线线系和微量元素的优点。微区XRF是一个斑点分析(直径约35微米),比电子束大。相对应束源和样品的交互体积也远大于电子束与样品的交互体积,并且与元素和样本基体相关。因此,电子束和 X 射线光子束生成的二维元素面分析图可能会产生差异。较低的谱背景允许XRF 检测电子束无法检测到的微量元素。
同样两者样品制备要求也不同。例如,X射线源不会造成荷电现象,因此完全不需要样品涂层。此外,由于信息深度更深,XRF 样品也不需要高质量的抛光。只要粗糙样品具有相对平整表面就可以分析。定量方面则根据用户需求,可以进行无标样定量,也可以进行有标样定量。