SEM-XRF を使用した広域マッピング (ハイパーマップ)は、形状像と観察されます。つまり、最小限のサンプル調製のみで、サンプルは劣化することなく直接分析することができます。これは、土壌の分析において、サンプルの状態を変えてしまうかもしれない取り付けや研磨、またはカーボンコーティングなどのあらゆるサンプル調製に関連します。μXRFは、図1に示すように土壌サンプルを直接分析することができます。これには、主要な元素だけでなく、汚染物質や毒素が混ざった微量元素や微量鉱物相も含まれます(図2参照)。この例では、PbおよびAs汚染物質を含むグレインが識別されました。