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SEM-XRF 可以对具有粗糙表面 的 样品执行大面积面分析(HyperMap)。也就是说几乎不需要样品制备,无需任何降解抛磨,可以直接分析样品。这在土壤分析中至关重要,因为任何形式的样品制备(如镶样,抛光或碳涂层)都可能会改变样品。微区XRF可以直接分析土壤样品,如图1所示。这包括主要元素,也包括可能含有污染物或毒素的微量元素或微量矿物相(见图2)。在此示例中,XRF 识别了含有 Pb 和 As 的污染物颗粒。