未知の多相含有材料の相同定と分布解析
図1.1：高合金Fe-Siセラミック複合体の微細構造を描いたパターンクォリティマップ。eFlash XSと、JSM IT200 SEM に搭載された XFlash EDS 検出器を使用して、EBSDとEDSマップを同時に取得しています。
QUANTAX ED-XSは 、 EDSとEBSDが完全に統合された システムです。EDS またはEBSD単独、もしくは両方の技術を同時に使用して、幅広い分析を行うことが可能です。革新的で強力な機能と最適化されたワークフローを組み合わせることで、データ収集プロセスが簡素化され、サンプルに存在する未知の結晶相の同定などの分析に対してSEMの効率を最大化します。
SEM の使用は、現在のすべてのフェーズを知らなくても、EBSD マップと EDS ハイパーマップを同時に取得することで最小化できます。EDS と EBSD データを含むマップは、その後オフラインで処理され、存在するすべてのフェーズを特定し、快適で効率的な方法で 、ESPRIT 2の超高速再分析速度を使用してマップを完成させます。
図1.2：パターンクォリティマップは、Si粒を赤色で示すフェーズマップと重なっています。フェーズのタイプや数が未知のサンプルにEBSD測定を設定するのに必要な時間を最小限に抑えるために、すべてのフェーズを特定することなく取得を開始することができます。他のすべてのフェーズは、のちほどオフラインで識別し、ESPRITソフトウェアの再インデックス機能を使用してマップを完成します。
図1.3：オフラインで使用される「Advaced Phase ID」機能の原理（パート１）。多数の自動および半自動機能は、EDS結果に基づくフェーズ候補の半自動検索、すべての候補フェーズの自動&超高速インデックス化、実験パターンへの適合品質に基づく自動分類などの機能によって、ユーザーをサポートします。
図1.4：オフラインで使用される「Advaced Phase ID」機能の原理（パート２）。水色で着色された領域は、ジルコニウムシリサイド（ZrSi2）の粒を表します。マップは 24,000 ポイント/秒を超える速度で 13 秒で再解析されました。
図1.5：オフラインで使用される「Advanced Phase ID」機能の原理（パート３）。6つの異なる結晶フェーズを含む高合金Fe-Siセラミック材料の完全なフェーズマップ。6つのフェーズでの再分析は、6,500ポイント/秒以上の速度で48秒かかりました。データクリーニングは行っていません。
図1.6：高合金のFe-SiセラミックにおけるTi, Ca, Zr, AgおよびCの分布を示すEDSハイパーマップ。マップは、309,000ピクセルのそれぞれに対して1つのEDSスペクトルを含み、50ポイント/秒の速度でEBSDマップと同時に取得されました。AgおよびCリッチ領域は、研磨中にAgペーストおよびエポキシ材料で満たされたサンプル中の亀裂または多孔質である。