잘 알려지지 않은 다단계 함유 재료의 위상 식별 및 분포 분석
도 1.1: 고합금 Fe-Si 세라믹 복합체의 미세 구조를 묘사한 패턴 품질 맵; EBSD 및 EDS 맵은 EFlash XS와 JSM IT200 SEM에 장착된 각각XFlash EDS 검출기를 사용하여 동시에 획득되었습니다.
QUANTAX ED-XS는 EDS 또는 EBSD단독으로 사용하거나 두 기술을 동시에 포함하는 광범위한 분석 유형을 가능하게 하는 완전히 통합된 EDS 및 EBSD 시스템입니다. 최적화된 워크플로우와 결합된 혁신적이고 강력한 기능은 데이터 수집 프로세스를 간소화하고 샘플에 존재하는 알 수 없는 결정적 단계를 식별하는 것과 같은 분석을 위해 SEM 효율성을 극대화합니다.
SEM 사용은 현재의 모든 단계를 알지 않고도 EBSD 맵과 EDS 하이퍼맵을 동시에 획득하여 최소화됩니다. EDS 및 EBSD 데이터가 포함된 맵은 이후에 오프라인으로 처리되어 현재모든 단계를 식별하고 ESPRIT 2' 초고속 재분석 속도를 편안하고 효율적으로 사용하여 맵을 완성합니다.
그림 1.2: 패턴 품질 지도빨간색 Si 곡물을 보여주는 위상지도와 겹쳐; 알 수 없는 유형 및 위상 수를 가진 샘플에 EBSD 측정을 설정하는 데 필요한 시간을 최소화하기 위해 모든 단계를 식별하지 않고도 인수를 시작할 수 있습니다. 다른 모든 단계는 나중에 오프라인으로 식별하고 ESPRIT 소프트웨어의 극단적 인덱싱 전력을 사용하여 지도를 완료 할 수 있습니다.
그림 1.3: 오프라인으로 사용되는 "비액 페이즈 ID" 기능의 작동 원리(파트 I); EDS 결과에 기반한 위상 후보자의 반자동 검색, 모든 후보 단계의 자동 및 초고속 인덱싱, 실험 패턴에 맞는 품질에 기초한 자동 분류 등 이 과정에서 다양한 자동 및 반자동 기능이 사용자를 지원합니다.
그림 1.4: 오프라인으로 사용되는 "비액 페이즈 ID" 기능(파트 II) 기능 원리; "아쿠아"에 착색 된 지역은 지르코늄 실리히드 (ZrSi2)의 곡물을 나타냅니다. 지도는 초당 24,000포인트 이상의 속도로 13초 만에 다시 분석되었습니다.
그림 1.5: 오프라인으로 사용되는 "고급 단계 ID" 기능의 작동 원리(파트 III); 6개의 다른 결정상을 포함하는 고합금 Fe-Si 세라믹 재료의 완전한 위상 지도; 6단계로 재해석하는 데는 초당 6,500포인트 이상의 속도로 48초가 걸렸습니다. 데이터 청소가 적용되지 않습니다!
그림 1.6: 고도로 합금된 Fe-Si 세라믹에서 티, 카, Zr, Ag 및 C 맵의 분포를 보여주는 EDS 하이퍼맵; 지도에는 각 309,000 픽셀에 대해 하나의 EDS 스펙트럼이 포함되어 있으며 EBSD 맵과 동시에 50포인트/초의 속도로 획득되었습니다. Ag 및 C 의 풍부한 영역은 연마 하는 동안 Ag 붙여 넣기 및 에폭시 재료로 채워진 샘플의 균열 또는 다공성입니다.