XFlash 6-60
ナノ領域分析のための検出器
XFlash 6-60検出器
スリムラインチューブデザインを有した大口径60mm2 EDSで、高立体角を実現しています。XFlash® 6-60 は、ナノサイズ領域の元素分析においても、高効率でX
線を取得することが可能です。また、低加速・低電流条件下においても高精度な元素分析を可能とします。また、仕様によってはMn Kαで126 eVを保証しており、軽元素領域においても高精度な元素分析を可能としました。
XFlash® 6-60 の優位点
- 優れたエネルギー分解能（Mn Kαで126 eV、C Kαで51 eV、F Kαで60 eV（CとFは参考値））
- その他の仕様はMn Kαで129 eVです
- 高パルス処理能力（取得X線処理能力）
- 広範囲元素の分析と、軽元素領域でのピーク分離能力（Be - Am要素範囲）
- 電子微鏡像に影響を及ぼす振動源を有しておりません
- 通電後、短時間で使用可能
- 低運用コスト
- ほぼ、メンテナンスフリーで運用可能
- スリムラインチューブを有し、コンパクトな設計
- 軽量
XFlash® 6-60 の得意分野
- SEMやFIB-SEM等、幅広く電子顕微鏡とコンバイン可能（超高真空ベローズ対応可能・オプション）
- 高速EBSD検出器であるeFlash FS と組み合わせた高速EDS-EBSD測定
- ナノサイズの微小領域元素分析