QUANTAX 75-60
日立ハイテク社製卓上顕微鏡TM4000シリーズ用 大面積SDD搭載 EDS検出器
QUANTAX 75-60は日立ハイテク製卓上電子顕微鏡（SEM）TM4000シリーズ用に設計されたEDSシステムです。
日立ハイテク製卓上SEMに元素分析の機能を追加します。60 mm2 の大面積シリコンドリフト検出器（SDD）は、従来の検出器よりも多くのデータを高速に測定し、強力なEDS分析を提供します。SDD検出器と小型プロセッサを備えたシステムは、分かりやすいESPRIT Compactソフトウェアで制御されます。
検出可能な元素はホウ素（Z=5）からカリホルニウム（Z=98）で、129 eVの優れたエネルギー分解能で定性分析、定量分析、マップ分析を行うことができます。
QUANTAX 75-60で使用したEDS検出器「XFlash 660H」。
60 mm2 SDD でより多くのX線を検出: 高速、高分解能、幅広い用途
高カウントレートでの元素分析
QUANTAX 75-60の大面積 60 mm2 SDDは、高品質元素マッピングに必要なX線シグナルを従来の30 mm2 SDDよりも短時間で計測できることを意味します。大きなX線検出立体角と高速プロセッサにより、さらに高速な分析を実現します。
優れた空間分解能での元素イメージング
QUANTAX 75-60では優れた空間分解能で元素マップ測定が可能です。大面積SDDにより、空間分解能を重視した低ビーム電流、小スポット径の条件でも、多くのX線シグナルを計測することができます。
さまざまな試料を元素マッピング
QUANTAX 75-60の60 mm2 SDDは低ビーム電流条件でも問題ありません。大きな検出素子面積は大きな検出立体角につながります。つまり、ビーム電流が低い場合でも、高品質な元素マッピングに必要なX線を検出することができます。従来の卓上SEM用EDSでは困難だった電子線ダメージを受けやすい試料など、より多くの試料が分析可能になります。