Le microscope à force atomique Dimension Edge™ PSS de Bruker accompagné du logiciel de métrologie AutoMET™ est le système idéal de nano-métrologie et de nano-inspection destiné aux fabricants de substrats et d'épitaxies de LED. En tant qu'extension de la plateforme AFM Dimension Edge, le Edge PSS intègre la valeur et la résolution exceptionnelles pour lesquelles les systèmes AFM Dimension sont réputés, tout en offrant une solution de production pour les mesures de substrat.
Lorsque le pas du substrat saphir structuré (PSS) descend en dessous de 2 microns, les techniques confocales traditionnelles perdent la résolution nécessaire pour fournir une métrologie de processus précieuse. Le microscope à force atomique (AFM) Dimension Edge PSS répond à ce besoin grâce à une résolution inférieure au nanomètre et à la possibilité de mesurer jusqu'à neuf plaquettes de 2 pouces à la fois (ou une seule plaquette de 4 ou 6 pouces), fournissant toutes les données nécessaires pour garder le processus de fabrication du PSS sous contrôle.
En plus des capacités de mesure spécifiques aux PSS intégrées au Dimension Edge PSS, le système intègre également toute la technologie AFM de Bruker, qui fait figure de leader mondial et pour laquelle les microscopes Dimension sont devenus célèbres, avec notamment une haute résolution et un faible bruit pour les mesures de rugosité épitaxiale, ainsi que des modes AFM standard et propriétaires tels que TappingMode, Contact Mode, PhaseImaging™ et LiftMode™.
L'AFM Dimension Edge PSS offre une résolution nanométrique pour l'analyse de chaque paramètre critique des substrats PSS, tout en collectant automatiquement ces informations sur l'ensemble de la plaque ainsi que d'une plaque à l'autre. L'ensemble d'analyse dédié aux PSS de Bruker peut fournir simultanément des données sur :
Le système Edge PSS intègre le logiciel AutoMET qui a été spécialement conçu pour répondre aux exigences de la fabrication des LED. Le logiciel comporte deux modes de fonctionnement distincts :
Le Dimension Edge PSS améliore la convivialité pour l'opérateur grâce à un alignement laser facile et à la génération automatique de rapports, offrant ainsi la meilleure expérience utilisateur jamais proposée dans un AFM à bas prix.