领先外延制造商的优先选择
为外延生长工艺控制与器件良率优化提供精准数据支撑,是半导体衬底晶圆、外延结构生产及器件加工的常备分析与监控系统
布鲁克的 QCVelox-E 是领先外延工厂首选的生产监控系统。作为行业标杆QC3的升级版,QCVelox-E 在吞吐量、可靠性和易用性等方面进实现了质的飞跃。通过优化 X 射线源和精密光学技术,保障了高通量与优异的重复性,使得生产环境中的外延层质量和结构信息能够实时得到反馈。这极大地加速了生产流程中的质量控制步骤,助力企业实现高效、精准的制造目标。
QCVelox-E 支持全流程自动化操作,配备便捷的水平样品台、自动对光校准与测量能力,可完成无边缘盲区的全晶圆区域(全尺寸300mm)的各类测量,并实现自动化数据分析。内置条形码读取装置,显著提升了工作效率,特别适合产线上的管控。
此外,QCVelox-E 还可选配自动装卸机械臂(robot handler),支持从晶圆盒自动上料与测量,适配 24/7 无人值守产线;同时可选配SECS-GEM 及其他工厂主机系统接口,实现检测数据实时上传与工艺参数自动同步。
作为化合物半导体材料分析的核心工具,QCVelox-E 适用于半导体衬底、外延层结构及加工后器件晶圆的常规检测,覆盖硅基(Si)、碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、砷化镓(GaAs)等全品类化合物半导体材料及其相关联外延结构的量测需求,为您的产品质量保驾护航。
How Can We Help?
Bruker partners with our customers to solve real-world application issues. We develop next-generation technologies and help customers select the right system and accessories. This partnership continues through training and extended service, long after the tools are sold.
Our highly trained team of support engineers, application scientists and subject-matter experts are wholly dedicated to maximizing your productivity with system service and upgrades, as well as application support and training.