fp-III
高速且精准的光罩修复能力
fp-III® 飞秒脉冲激光系统作为布鲁克备受赞誉的光罩修复家族的新成员，以其非凡的高速度与高精度修复能力脱颖而出。fp-III®成为当今替换过时、速度缓慢且性能较低的传统激光和FIB光罩修复设备的最具经济效益的选择，而且其专为大规模生产中的光罩修复需求而设计，支持低至45 nm技术节点的精细修复工作。它能够实现包括大面积与小面积图像重建及穿透保护膜的修复，确保了在各种复杂情况下的出色表现和高效运作。
超强操控能力，让修复变得简单
我们的飞秒脉冲激光修复系统实现了高度可控性，用户可以根据需要精确调节形状、功率以及脉冲数量，且该工艺不受材料组成、材料界面或待处理几何形状的影响。
更此外，本系统还标配了局部图案复制功能，使得设置过程简便快捷，保证了每次操作的一致性和可重复性。
为实现最佳性能而设计
fp-III标配了反射和透射成像，以提供最佳的AIMS透光率性能。
提供卓越的透膜修复能力和颗粒去除能力，能在大面积防止未知颗粒的污染。
体验强大功能，享受无忧操作
布鲁克的光罩修复系统fp-III是您理想的选择。该系统经过产线验证，能够实现高速、高质量的修复过程，并具备以下显著优势：
- 无需真空环境
- 不使用化学物质
- 无化学残留
- 无光束引起的充电效应
- 无需频繁使用定位标记进行漂移校正
Support
How Can We Help?
Bruker partners with our customers to solve real-world application issues. We develop next-generation technologies and help customers select the right system and accessories. This partnership continues through training and extended service, long after the tools are sold.
Our highly trained team of support engineers, application scientists and subject-matter experts are wholly dedicated to maximizing your productivity with system service and upgrades, as well as application support and training.