X射线衍射(XRD)

DIFFRAC.LEPTOS

LEPTOS是一个综合性的软件套装,可用于分析X射线反射率(XRR)、高分辨率X射线衍射(HRXRD)、掠入射小角X射线散射(GISAXS)以及残余应力(RS)数据。

功能全面的材料研究软件套装

X射线反射率(XRR)可提供竖直方向样品密度分布详细信息、层厚及界面粗糙度。高分辨X射线衍射(HRXRD)可测量样品的晶体结构。掠入射小角X射线散射(GISAXS)可用于分析纳米颗粒和孔隙度。残余应力分析可检测大块样品和多晶涂层的应变状态。

除了常规的单曲线扫描,LEPTOS还能分析高分辨HRXRD和XRR倒易空间图,GISAXS和XRD²应力测试帧图,以及HRXRD、XRR和残余应力的多位点扫描图。用零维、一维或二维探测器收集的数据均可。

图形用户界面可以定制,以满足科学研究人员和工业操作人员不同方面的需求。

  • 联合分析XRR、HRXRD、GISAXS和RS的许多测量数据
  • 先进的x射线散射理论,以及用于估算、模拟和拟合正空间和倒易空间中的数学算法
  • 对通过点、线和二维探测器测得的一维和二维数据集进行积分处理
  • 通用的样品模型编辑器,可用于参数化任何类型的薄膜和大块样品
  • 全面和可扩展的材料数据库,涵盖所有230个晶体空间群
  • 区域多位点扫描工具,可以显示和分析对大样品区域的测试结果
  • 先进的sin²ψ方法,用于对一维和二维数据进行残余应力分析,同时还有多(hkl)方法分析涂层的应力梯度

DIFFRAC.LEPTOS模块

LEPTOS R

LEPTOS R既可将漫散射柱和摇摆曲线拟合成独立的曲线,又能拟合为由横向和纵向扫描的若干曲线组成的一个曲线集。

LEPTOS R适用于分析X射线反射率(XRR)数据和薄层结构的漫散射(DS)数据。该模块完全集成在LEPTOS套装中,可用于同时分析HRXRD、GISAXS和XRR数据。作为LEPTOS套装的一部分,R模块拥有整个套装常见的所有功能。

LEPTOS R在许多国际标杆项目(如VAMAS项目A10)中获得了高度评价。LEPTOS R的结构符合新制定的XRR数据格式的国际rfCIF标准。

LEPTOS H

LEPTOS H能用于分析高分辨率X射线衍射和掠入射X射线衍射数据。

该模块完全集成在LEPTOS套件中,可用于同时分析HRXRD、GISAXS和XRR数据。作为LEPTOS套件的一部分,H模块拥有整个套件常见的所有功能。

LEPTOS H含有一个区域多位点扫描模块,可用于处理在大样品区域上逐点采集的HR-XRD数据,并显示样品参数。

LEPTOS S

可以通过在不同的掠入射角度下测量的多{hkl}数据来计算残余应力梯度。在计算时应考虑到X射线的吸收和折射,以及涂层厚度。

LEPTOS S是个创新、强大和综合性的工具,适用于分析使用经典的sin2ψ方法使用零维、一维或二维探测器测试的以及拓展的XRD2方法测试的残余应力。该模块完全集成在LEPTOS套装中,拥有整个套装常见的所有功能。

LEPTOS G

LEPTOS G适用于分析掠入射小角散射数据,这些数据来源于含纳米颗粒的样品,这些颗粒可能在样品表面以下或位于样品表面上。例如,这些可以是内嵌的或表面的半导体量子点和岛、多孔材料、凝聚粉末、嵌入在聚合物中的纳米颗粒等。模块G的授权也包含用于X射线反射率的R模块。

LEPTOS G可积分二维数据为可拟合的一维数据,并可将二维数据在实验室坐标和倒易空间坐标之间转换。

DIFFRAC.LEPTOS的技术指标

版本

最新软件版本为V7.10.12

分析方法

Parratt的动态方法

界面粗糙度模型的多样化

计算X射线散射参数的操作方法

本征波的专利方法(MEW)

快速的2x2和精确的4x4递推矩阵方法

传统的和扩展的sin2ψ方法,以及XRD2方法

通过多{hkl}数据分析得到残余应力

薄的多晶涂层中的应力/应变梯度

操作系统

Windows 8和10(32位或64位)

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