전기 특성화 모듈
나노 핀덴티션, 압축 또는 인장 하중 동안 동시 시동 전기 및 기계적 측정
n-doped VLS 재배 실리콘 나노 필로의 압축 시 전기 특성화. D.D. Stauffer, 박사 학위, "나노 스케일 취성 재료의 변형 메커니즘," 미네소타 대학 (2011) pp. 150-152.
PI 시리즈 계측기용 브루커의 전기 특성화 모듈(ECM)은 동시에 시상 전기 및 기계적 측정을 위한 강력한 솔루션을 제공합니다. 프로브와 시료를 연결하는 전도성 경로를 사용하여, 전압 바이어스가 적용된 힘 및 프로브 변위의 함수로서 진화하는 전기 접촉 조건을 지속적으로 측정할 수 있도록 적용됩니다. 현장별 테스트는 전자 현미경 이미징을 통해 적절한 팁 배치를 확인하여 수행될 수 있습니다. 관통 팁 전기 측정은 기둥 및 입자와 같은 마이크로 또는 나노 구조의 전기 기계적 특성에 대한 통찰력을 얻기 위해 사용될 수 있습니다. 습도 또는 수분 흡착 효과는 전자 현미경의 진공 환경에 의해 최소화됩니다.
ECM의 기능을 발전시켜 MEMS 전기 푸시-풀(E-PTP) 장치는 인장 테스트를 가능하게 하는 동시에 표준 4점 측정을 사용하여 시료 저항성을 측정할 수 있습니다. 전류 소싱 및 전압 감지 전극의 분리는 측정에 대한 접촉 및 납 저항을 제거하여 전기 적 특성의 정확한 측정을 가능하게합니다. 전압 스윕은 또한 IV 곡선을 측정하기 위해 수행될 수 있으며, 진정한 응력과 균주는 전자 현미경에서 표본 치수를 모니터링하고 측정하여 결정됩니다.
