电学表征模块
在纳米压痕、压缩或拉伸状态下，原位同时表征电特性与力学特性的有力工具
压缩VLS法生长的n型掺杂的硅纳米柱时的电学表征。 D.D. Stauffer 博士论文，“纳米级脆性材料的变形机理”，明尼苏达大学（2011），第 150-152 页。
布鲁克用于 PI 系列仪器的电学特性测量模块（ECM）为同步进行原位电学和力学测量提供了强大的解决方案。通过在探针和样品之间的导电路径上施加电压，可以连续测量不断变化的电接触条件，这些条件是施加的力和探针位移的函数。特定点位的测量可以通过用电子显微镜成像确认正确的针尖位置来操作。针尖电学测量还可用于深入了解如柱状和颗粒等微结构或纳米结构的机电特性。电子显微镜的真空环境可使湿度或吸潮的影响最小化。
为了增强 ECM 的功能，MEMS 电学压转拉模块式（E-PTP）装置可在使用标准四点测量法测量样品电阻率的同时，进行拉伸测试。电流源电极和电压传感电极的分离可以消除测量过程中的接触电阻和引线电阻，从而得到精确的电学特性。电压扫描也可以用于测量 IV 曲线，而真实的应力和应变则通过监测和测量电子显微镜下的样品尺寸予以确定。
