측정 설정
ESPRIT EBSD 소프트웨어는 측정을 설정하고 수행하기 위한 다양한 보조 및 도구를 제공합니다.
신호 설정
EBSD용 ESPRIT에는 카메라 노출 시간 및 게인과 같은 획득 설정을 자동으로 조정하는 신호 도우미가 있습니다. 이로 인해 패턴 이미지가 최적으로 발광됩니다. 측정 조건이 변경된 경우에만 재조정이 필요합니다.
고급 사용자는 제공된 컨트롤을 사용하여 수동으로 모든 매개 변수를 설정할 수 있으므로 특수 요구 사항에 따라 패턴 품질을 미세 조정할 수 있습니다.
패턴 센터 교정
정확한 패턴 센터 교정은 올바른 인덱싱및 위상 오인을 피하기 위한 절대적인 필요성입니다. EBSD용 ESPRIT는 현재 샘플을 사용하여 이 작업을 자동으로 수행하는 정교한 교정 도우미를 제공합니다(교정 표준이 필요하지 않습니다). 재보정은 시료 검출기 형상(예: 샘플 검출기 거리 또는 검출기 기울기)을 변경한 후에만 필요합니다.
전문가 사용자는 수동 패턴 센터 교정을 수행할 수도 있습니다. 이 기능은 스팟 모드에서 작동하며 수동 밴드 감지 미세 튜닝을 가능하게 하며, 그 다음에는 자동 인덱싱 및 패턴 센터 좌표가 세련미로 조정됩니다.
드리프트 보정
EBSD 측정은 여러 가지 이유로 드리프트를 샘플링하는 경향이 있을 수 있습니다. ESPRIT에는 EBSD 측정을 지원하고 이미지 드리프트를 보정하는 강력한 드리프트 보정 기능이 포함되어 있습니다.
인수 자동화
스테이지 제어는 편안한 측정 자동화에 사용할 수 있습니다. 뷰 필드(지도)를 함께 스티치하여 고해상도로 큰 샘플 영역에서 데이터를 획득하는 데 사용할 수 있습니다. 또는 사용자는 샘플 표면의 다양한 위치와 배율에서 여러 측정 작업을 시작할 수 있습니다.
자동 저장 기능
패턴과 EDS 스펙트럼을 포함하는 매우 큰 데이터 집합은 각 측정의 끝에 자동으로 저장할 수 있습니다. 이 기능은 무인 데이터 수집에 특히 유용합니다.