測定セットアップ
ESPRIT EBSDソフトウェアは、測定を設定および実行するためのさまざまなアシスタントとツールを提供します。
信号の設定
EBSD用ESPRIT には、カメラの露出時間やゲインなどの取得設定を自動的に調整するシグナル アシスタントが搭載されています。これにより、最適な照明パターン画像が得られます。再調整は、測定条件が変更された場合にのみ必要です。
上級ユーザーは、提供されるコントロールを使用してすべてのパラメータを手動で設定し、特別な要件に従ってパターン品質を微調整することも可能です。
パターンセンターキャリブレーション
正確なインデックス作成とフェーズの誤認識を避けるために、パターンセンターキャリブレーションは必ず必要です。EBSD用のESPRITは、現在のサンプルを使用してこのタスクを自動的に実行する高度なキャリブレーション アシスタントを提供します（キャリブレーション標準は必要ありません）。再キャリブレーションは、サンプル検出器の形状、例えばサンプル-検出器の距離または検出器の傾きを変更した後にのみ必要です。
エキスパートユーザーは、手動のパターンセンターキャリブレーションも実行することもできます。この機能はスポットモードで動作し、手動のバンド検出の微調整が可能になります。その後、自動インデックス作成とパターンセンター座標の調整が行われます。
ドリフト補正
EBSD測定は、いくつかの異なる理由でサンプルドリフトを起こしやすい可能性があります。ESPRITには、EBSD測定をサポートし、画像のドリフトを補正する強力なドリフト補正機能が含まれています。
データ取得の自動化
ステージ制御は、快適な測定自動化に使用できます。視野（マップ）をつなぎ合わせることで、大きなサンプルエリアから高解像度でデータを取得できます。また、ユーザーはサンプル表面の様々な場所と倍率で複数の測定ジョブを起動することができます。
自動保存機能
パターンと EDS スペクトルを含む非常に大きなデータセットは、各測定の最後に自動的に保存できます。この機能は、データの自動取得に特に役立ちます。