예를 들어 LaB6을 이용한 정량적 분석
란타눔 육각형(LaB6)은두 개의 극단, 매우 가벼운 요소(B) 및 무거운 요소(La)를 포함하고 있기 때문에 S/TEM의 정량적 EDS 분석을 위한 매우 예시적인 예를 제공한다. LaB6은 브루커의 XFlash® 검출기와 클리프-로리머 정량화 루틴의 성능을 보여주는 데 사용할 수 있습니다.
알 수 없는 샘플 부품의 정량화 테스트는 요소 식별으로 시작됩니다. 정량화할 요소는 자동화된 루틴 또는 대화형 루틴으로 정의할 수 있습니다. 길 잃은 방사선(예: 샘플 홀더의 Cu) 또는 오염(예: 탄소)에서 유래되는 스펙트럼의 원소 선은 극치에 대해서만 할당될 수 있다. 따라서 각각의 신호는 라인 분광에 사용될 수 있지만 시편에서 원소 농도의 판정을 고려하지 않는다. 다음 단계는 배경 빼기입니다. 배경의 완벽한 착용감을 위해 특별한 물리적 bremsstrahlung 모델이 제공됩니다. 세 번째 단계는 피크 데온볼루션입니다. 최적의 피크 분리에 사용할 수 있는 여러 가지 핏 모델. 마지막으로, 이론적 또는 보정된 클리프 로리머(CL) 요소를 사용하여 정량화가 완료됩니다.
LaB6 표준(이미지 갤러리의 청록색 스펙트럼)을 사용하여 클리프-로리머 요인을 실험적으로 보정할 수 있습니다.
이론적 CL 요인을 사용한 결과는 이미 브루커의 클리프-로리머 정량화의 탁월한 성능을 보여줍니다. 이미지 갤러리쇼의 테이블로서 라와 B의 예상 구성은 14.29%에서 85.71로 예상된다. 또한 L시리즈 대신 정량화를 위해 라 K 시리즈를 사용한 결과는 QUANTAX 시스템이 스펙트럼 획득에 적합하며 최대 80keV의 20keV 라인 에너지를 초과하는 정량화에도 적합하다는 것을 보여줍니다.
