LaB6を例にした定量分析
六ホウ化ランタン（LaB6）は、非常に軽い元素（B）と重い元素（La）の2つの極端な値を含むため、S/TEMにおける定量EDS分析の非常にわかりやすい例を示します。LaB6 は、BrukerのXFlash®検出器およびCliff-Lorimer定量化ルーチンの性能を示すために使用することができます。
未知のサンプル部品の定量試験は、元素の同定から始まります。定量化する要素は、自動化されたルーチンまたはインタラクティブなルーチンで定義できます。迷放射（サンプルホルダーからのCuなど）または汚染（カーボンなど）に起因するスペクトルの元素線は、デコンボリューションにのみ割り当てることができます。したがって、それぞれの信号はラインデコンボリューションに使用できますが、試料中の元素濃度の決定には考慮されません。次のステップは、バックグラウンドの減算です。特別な物理的な制動放射モデルが提供され、バックグラウンドに完全にフィットします。3番目のステップは、ピークデコンボリューションです。最適なピーク分離のために、いくつかの異なるフィッティングモデルが利用可能です。最後に、理論的または較正されたCliff-Lorimer（CL）係数を使用して、定量が完了します。
LaB6 標準（画像ギャラリーのターコイズスペクトル）を使用して、Cliff-Lorimer係数を実験的に較正することができます。
理論的なCL係数を用いた結果は、すでにBrukerのCliff-Lorimer定量化の優れた性能を示しています。画像ギャラリーの表が示すように、これらはLaとBの14.29 at.%と85.71 at.%という予想される構成に非常に近い結果です。また、Lシリーズの代わりにLa Kシリーズを定量化に用いた結果は、QUANTAXシステムがスペクトル取得および20keVを超えるラインエネルギーから80kevまでの定量化にも適していることを示しています。
