나노 구조 박막의 정량적 특성화
나노 물질은 일반적으로 전송 전자 현미경 (TEM)에서 조사됩니다. 그러나, 스캐닝 전자 현미경(SEM)의 넓은 시야로부터 베Ififiting하여 나노 물질을 정량적으로 특성화할 수 있다. 온축 TKD 기술은 이 목표를 위해 개발되었다; 이제 EBSD 하드웨어를 사용하여 나노스케일에서 배향 분포 측정을 생산하는 SEM 기반 의 방법이 잘 정립되어 있다. 이 응용 프로그램 예에서 금및 백금 박막의 배향 분포는 FEG-SEM에서 OPTIMUS TKD 헤드로 레트로처리된 e-Flash FS 검출기로 측정되었다. 고속 TKD 측정은 빔 드리프트를 극복하고 초고공간 해상도를 달성할 수 있도록 낮은 프로브 전류(<3 nA)에서 달성됩니다: 20분 이상 1000알갱이가 20nm이고 트윈 경계(3nm)와 같은 초미세 피처를 측정하였다.
왼쪽: 3nm 너비의 쌍둥이 경계(IPF Z 맵, 1.5nm 스텝 크기의 축 TKD) 오른쪽: Au 박막의 회절 패턴
5 nm Si3N4 멤브레인에 20 nm Au 필름의 온축 TKD 지도 - 우리는 샘플 표면 (IPZ)에 수직을 따라 2 nm 단계 크기로 획득 된 원시 방향 분포지도를 제시한다. 인덱싱 비율은 92%>. 2400개 이상의 곡물을 측정했습니다.
3nm 공간 해상도에서 획득한 Au 박막의 ARGUS 색상 코드 다크 필드 이미지