ナノ構造薄膜の定量評価
ナノ材料は通常、透過型電子顕微鏡（TEM）で調査されます。しかし、走査型電子顕微鏡（SEM）の広い視野によって、ナノ材料を定量的に特徴付けすることも可能です。オンアクシスTKD技術は、この目的のために開発されました。現在では、EBSDハードウェアを使用してナノスケールで方位分布測定を行う、SEMベースで確立された手法になっています。このアプリケーション例では、金と白金の薄膜の方位分布を、FEG-SEMにOPTIMUS TKDヘッドを取り付けたe-Flash FS検出器で測定しました。高速TKD測定は低プローブ電流（<3 nA）で達成することができ、ビームドリフトを克服し、超高空間分解能を実現します。20分で1000を超える粒子が測定され、最小粒径は20nmで、双晶ナノ材料は通常、透過型電子顕微鏡（TEM）で調査されます。しかし、走査型電子顕微鏡（SEM）の広い視野によって、ナノ材料を定量的に特徴付けすることも可能です。オンアクシスTKD技術は、この目的のために開発されました。現在では、EBSDハードウェアを使用してナノスケールで方位分布測定を行う、SEMベースで確立された手法になっています。このアプリケーション例では、金と白金の薄膜の方位分布を、FEG-SEMにOPTIMUS TKDヘッドを取り付けたe-Flash FS検出器で測定しました。高速TKD測定は低プローブ電流（<3 nA）で達成することができ、ビームドリフトを克服し、超高空間分解能を実現します。20分で1000を超える粒子が測定され、最小粒径は20nmで、3nmの双晶の超微細機構が確認できました。
左：3nm幅の双晶（IPF Zマップ、1.5nmステップサイズのオンアクシスTKD）、右：Au薄膜からの回折パターン
5nmのSi3N4膜上の20nm Au膜のオンアクシスTKDマップ：サンプル表面（IPZ）に垂直に2nmステップサイズで取得した生の方位分布マップを示します。インデックス作成率は92%以上で2400粒以上が測定されました。
3 nmの空間分解能で取得したAu薄膜のARGUS色付け暗視野像