회절 실험을 위한 X선 광학과 결합하여 마이크로포커스 X선 밀봉 튜브 소스를 사용하는 개념은 90년대 초에 미국 Arndt(MRC-LMB, 케임브리지)에 의해 처음 개척되었습니다. 그러나 인상적인 강도에도 불구하고 이 1세대 마이크로포커스 소스는 상대적으로 안정성이 좋지 못하고 튜브 수명이 짧기 때문에 제한된 수용을 발견했습니다.
2006년 INCOATEC가 도입한 IμS 2세대 마이크로포커스 소스는 1세대 소스에 사용되는 비효율적인 금속 총 반사 광학을 현대 다층 광학장치로 대체했습니다. 이 조합은 마침내 높은 광채, 안정적이고 긴 수명 마이크로 포커스 소스를 달성했습니다. 이러한 장점 때문에 마이크로 포커스 소스는 이후 전 세계적으로 1200 IμS 설치보다 먼 moe와 실험실 결정학의 표준 소스가되었다.
2015년 INCOATEC는 IμS 3.0을도입했습니다. 이 소스는 Incoatec에 의해 완전히 설계 및 제조 된 마이크로 포커스 튜브의 1 세대를 통합합니다. IμS 3.0의 이륙 각도 및 필라멘트 특성의 최적화는 기존의 NDT 마이크로포커스 튜브에 비해 2배 이상 X선 강도의 증가를 유도하고 IμS 3.0을 X선 회절 응용 분야에 최적화된 최초의 마이크로포커스 소스로 만든다.
2019년에 출시된 IμS DIAMOND는IμS 제품군의 최상위 멤버입니다. IμS 3.0의 장점을 유지하면서 IμS DIAMOND의 독특한 하이브리드 다이아몬드 양극은 기존의 마이크로포커스 튜브에 비해 X선 강도가 5배 더 높은 것으로 이어지는 크게 향상된 열 관리를 가능하게 합니다.