AutoMET AFM ソフトウェア
寸法計測システム向けの拡張ナノスケールオートメーション
ブルカーのAutoMET™ソフトウェアは、要求の厳しい製造現場に信頼性の高い性格なAFM測定環境を提供します。Dimension FastScan および Dimension Icon システムで使用可能な ソフトウェアAutoMET は、高分解能AFMイメージングを高速自動計測で実現します。製造、品質保証/品質管理(QA/QC)、またはその他の大容量計測向けアプリケーションで実施される品質に重要な測定に対して、信頼性の高い測定結果を提供します。
- データストレージスライダーサンプル、ベアウェハとパターン付きウェハー（最大300 mm）のユーザー定義位置で、自動ナノスケール計測
- 学式およびAFM画像パターン認識、チップセンタリング、フルウェハーまたはグリッドマッピングのサポート、数十ナノメートル以内の画像配置精度
- 上級者にも対応する包括的ながらもシンプルなレピシ作成
- サンプルとプローブの位置合わせ、配置補正が簡単な設定面
- 事前に定義されたレシピを使用して、何千の複雑なサンプル測定を簡単に実行するレシピ実行モード
AutoMET には直感的で簡単なレシピ作成環境が含まれており、複雑な測定ルーチンを簡単なプッシュボタン操作に簡単に行うことができます。すべての経験レベルのオペレータは、事前定義されたレシピを実行することにより、何千ものサンプルの詳細で正確な測定値を得ることができます。
AutoMETには、直感的でシンプルなレシピ作成環境が含まれており、複雑な測定ルーチンを非常に簡単に、シンプルな押しボタン操作に変換することができます。あらゆる経験レベルのオペレータが、あらかじめ定義されたレシピを実行することで、何千ものサンプルに対して詳細で正確な測定値を得ることができます。
図 A は、矩形または正方形のスキャン領域でユーザー定義の測定位置のグリッドベースのレイアウトを示すレシピウィンドウを備えています。図Bは、正確な、ユーザー定義のX、Y測定位置のためのウエハーベースのレイアウトを示すレシピウィンドウを備えています。
