単原子のスペクトルを取得することは、EDSの最高技術であるだけでなく、特定の元素の励起特性に関する貴重な新しい情報を提供することでもあります。
単一のシリコン原子を含むグラフェン単原子層を、EELSとEDSを用いて同時に分析しました。どちらの方法でも、原子をSiとして識別することができます。また、Pt原子を特定することもできます([1], [2]のデータ参照)。EDSスペクトルは下の画像に示されています。使用されるビーム電流と取得時間を考慮すると、現在のモデルでは、約2倍のカウントが予想されています。この結果は他の元素でも一貫していたので、さらに調査結果は興味深いものとなります。
詳細情報:
[1] Single atom identification by energy dispersive x-ray spectroscopy
Applied Physical Letter Volume 100, Issue 15 4101 (2012); Authors: T. C. Lovejoy, Q. M. Ramasse, M. Falke, A. Kaeppel, R. Terborg, R. Zan, N. Dellby, and O. L. Krivanek
[2] Individual heteroatom identification with X-ray spectroscopy (open access)
Applied Physical Letter Volume 108, Issue 16 3101 (2016); Authors: R. M. Stroud, T. C. Lovejoy, M. Falke, N. D. Bassim, G. J. Corbin, N. Dellby, P. Hrncirik, A. Kaeppel, M. Noack, W. Hahn, M. Rohde, and O. L. Krivanek