Le PicoIndenter SEM PI 80 de Bruker est un instrument d'essai nanomécanique à détection de profondeur spécialement conçu pour augmenter les capacités d'imagerie des microscopes électroniques à balayage (SEM, FIB/SEM, PFIB). Avec cet outil de nanoindentation de base, il est possible de réaliser des essais nanomécaniques quantitatifs in situ tout en produisant simultanément des images avec le SEM. Doté du transducteur capacitif de pointe de Bruker, le PI 80 offre des performances exceptionnelles et une stabilité supérieure à l'échelle nanométrique. Sa conception compacte et discrète en fait l'instrument idéal pour les SEM à petite chambre, ainsi que pour les microscopes optiques et Raman autonomes, les lignes de faisceaux, etc. Avec sa combinaison de fonctionnalités, de modes de test et d'accessoires optionnels, le PI 80 SEM PicoIndenter constitue une excellente introduction aux tests avancés de propriétés nanomécaniques à l'intérieur de votre SEM.
Les données mécaniques in-situ acquises avec l'Hysitron PI 80 sont synchronisées avec l'imagerie SEM et affichées en format vidéo côte à côte. La simultanéité des mesures mécaniques et des données SEM permet une compréhension plus complète du comportement de déformation du matériau. Dans l'exemple de gauche, les discontinuités dans les données de charge-déplacement sont corrélées au début de la fracture observée dans une poutre fraisée par FIB contenant des interconnexions en cuivre et un matériau diélectrique fragile.
Grâce à la forme compacte du transducteur capacitif de Bruker, le Hysitron PI 80 peut être monté directement sur la platine du SEM sans être un élément permanent du microscope. Les platines de positionnement de l'échantillon s'adaptent à des échantillons jusqu'à 20 mm d'épaisseur tout en assurant un positionnement précis de l'échantillon sur plus de 3 mm dans les trois directions (XYZ). En outre, le couplage mécanique de la platine d'échantillonnage et du transducteur fournit une plateforme stable et rigide pour les tests nanomécaniques. Globalement, cet instrument in situ permet une inclinaison de la platine et une distance de travail optimisées pour l'imagerie SEM complémentaire et les tests nanomécaniques standard.
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