HD9800+ 三维大幅面轮廓测量系统是全球最先进的光学轮廓仪,适用于在线数据存储磁头的计量。该系统将具有计量功能的光学表征技术与先进的自动化技术相结合,可执行出色的 PTR 和平整度测量。HD9800+ 吸收了数十年的工业高清计量经验,具有白光干涉(WLI)、自校准、LED 高强度照明、易操作软件及其他多项优势,提供可靠的高分辨无损计量,帮助数据存储制造商改进工艺质量,提升良率。
HD9800+ 系统的耐振动设计、集成式气浮隔震台以及紧随行业技术路线的生产友好型架构,可保证车间量产使用期间测量的完整性。该系统采用高分辨摄像头,提供卓越的横向分辨率和准确度,同时具有多种专为先进工艺控制设计的硬件和分析软件功能,是适用于数据存储磁头应用的速度最快、计量功能最强的系统。
HD9800+ 可提供最快、最准确的滑块极尖沉降(PTR)和磁头支承面平整度三维测量。该系统还可对照内置基准持续校准,无需再对台阶高度进行定期校准。这种自校准确保了长期的稳定性和关联性,大幅缩短了校准时间,最终提供现有最可靠、适用性最强、最准确的工业计量。
HD9800+ 可选装多种增强配件,满足用户设施的特定要求: