工作电压范围为30至200 kV
Python开源控制软件
高亮度/高稳定的冷场发射电子枪(CFEG)
高性能的C3/C5像差校正
样品位置上的超高真空度
具有4D-STEM功能
产品特点 | 优势 |
在2Å探针上电流>1 nA | 快速的原子分辨的电子能量损失谱(EELS)元素分布图 |
0.8 Å的高角环形暗场(HAADF)分辨率 | 可分辨微小的间距和单个原子 |
校正所有五阶轴向像差 | 更大的探针角度,更高的电子束流 |
每项操作都可远程实现 | 远程支持,无需现场操作 |
无摩擦、中心对称的样品台 | 超精确的样品移动,无漂移 |
使用滚珠轴承的双倾样品杆 | 无齿隙,实现超精确倾斜 |
快速静电束阻断器 | 在不收集数据时,避免样品损伤 |
快速静电束阻断器 | 可接受>50 mr的半角,分析更高效 |
镜柱由离子泵实现全真空 | 最大限度地减少样品污染和蚀刻 |
镜柱采用全金属真空密封件 | 样品真空度通常小于<1x10-9 torr |
整个镜柱可加热至140°C | 消除显微镜引起的污染 |
全镜柱采用双层μ金属屏蔽 | 最大限度地降低对杂散交流场的灵敏度 |
完全模块化的结构设计 | 显微镜镜柱支持特殊定制 |
包含自诊断电子装置 | 快速的远程服务 |