半导体微芯片材料的元素识别
导电陶瓷材料钨硅化物常用于微电子材料，如微芯片。钨硅化物也可能作为半导体材料中的耐火相，如硅片上的钨硅化物。
为了在质量控制中实现微和纳米水平的高空间分辨率，材料必须以低加速电压进行分析，而这个前提使这些物相的识别变得困难。在这个例子中，W M 线系的谱峰可以被激发，而这些谱峰会与基板材料 Si K+线系发生严重重叠。
由此产生的主要元素（Si）的 EDS 峰值会变宽，并掩盖了第二物相（W）的存在。相对应的，如果使用 QUANTAX WDS 进行分析，由于其卓越的能量分辨率，W 和Si 的每个峰都可以被完美识别。
WDS 采集的电子芯片上 Si 和W 元素的分布图
在1.6-2.0 keV 能量范围内，硅化钨材料毫无重叠的谱峰展现了WDS 的高能量分辨率