在许多情况下,进一步处理元素面分析以获得更清晰的样品图像是有利的。我们对层状样品的定量面分析进行了演示。第一张图显示了样品中元素定量面分析的混合图。整张图片显得相当"嘈杂"。在这张图中,我们定义了三个感兴趣或者由代表性的区域,它们是两个矩形和一个较小的圆形区域,用于展示测试程序。
Autophase 功能可以在 “Objects”(选区分析) 模式下启动。它可以在主要成分分析中使用定义的区域作为参考,在图中查找成分类似的区域,并将这些区域划分为同一物相。结果见第二张图。第二张图中可以区分和定位 Zn 和 Cd 含量不同的两个物相。而由线扫描和点分析导致样品表面产生的碳污染则被分配成为第三物相。左侧的灰色区域位于感兴趣的区域之外,与其他物相相比,灰色区域是"未分配的",其成分与已确定的物相都不同。而最右侧的区域也含有碳。