矿物学样品的高级物相鉴定
在测量区域通过ARGUS成像探测器采集的原子衬度图像。从不同的灰色级别可以推断出至少存在 5 个不同的物相。
EBSD 是地球科学研究中一项非常强大的技术，它可用于微观结构的分析和物相的识别。通过测量颗粒的晶格取向和物相分布，EBSD 可用于确定矿物织构的晶体学首选方向（CPO），并了解矿物变形和相变机制。
矿物学样品面临的挑战之一是，样品存在多重物相，主要物相和副相的晶粒尺寸可能存在相当大的差异，在设置测量参数时很容易漏掉这些副相。然而，EBSD可以区分具有相似化学成分但晶体结构不同的物相，而EDS可以区分具有相似晶体结构但化学成分不同的相。EDS和EBSD的联用可以测量包含多相的矿物学样品，克服这些限制。
在这个例子里，通过同时采集 EBSD 和 EDS信号对Oceanic Gabbro（ODP 304/305 U1309D）样品进行了分析。样品中10个具有5中不同对称性的物相被成功识别并标定。需要注意的是，物相的识别和区分是可以半自动执行的。这样既可以在 SEM 测试时直接对样品物相进行识别和区分，也可以在测试结束后使用保存的数据离线执行。对于用户来说，更正分析，无需重新测量。 EBSD 物相图和取向分布图（图 3 和图 4）展示了软件同时标定众多低和高晶体对称物相的能力。
使用ARGUS成像探测器™对比度图像。它揭示了微观结构，尽管离子铣削产生了有一些遮挡，但样品被成功制备：通过彩色编码的方向对比可以清楚地看到金键的内部应力。
未处理的 EBSD 物相分布图显示该样品存在 10 个物相。标定率高达 95%。黑色的部分对应侵蚀、孔隙或裂缝。该图说明了布鲁克软件同时标定低和高晶体对称相的能力。需要注意的是，请注意，透辉石颗粒中斜紫苏辉石的出溶也成功解析：尽管样品具有类似的晶体学特征，但QUANTAX EBSD标定算法的鲁棒性在这些物相之间没有产生错误的标定。
花样质量图由取向（沿倾斜轴）叠加图，具有竞争性的标定显示出该样品存在 10 个物相。