EBSD ist eine sehr leistungsfähige Technik für geowissenschaftliche Untersuchungen, u.a. zur Analyse von Mikrostrukturen und zur Phasenidentifikation. Durch die Messung der Gitterorientierung der Körner und die Ermittlung der Phasenverteilung hilft EBSD dabei, die kristallographisch bevorzugten Ausrichtungen (CPO) mineralischer Gewebe zu bestimmen und Verformungs- und Phasenumwandlungsmechanismen zu verstehen.
Eine der Herausforderungen bei der Untersuchung mineralogischer Proben ist die Vielzahl an Phasen und der beträchtlichen Unterschiedn in den Korngrößen. Phasen mit ähnlichen chemischen Zusammensetzungen, aber unterschiedlichen kristallographischen Strukturen können mit EBSD unterschieden werden, während EDS Phasen mit ähnlichen kristallographischen Strukturen, aber unterschiedlichen chemischen Zusammensetzungen unterscheidet. Durch die gleichzeitige Messung und die kombinierte Verarbeitung von EDS- und EBSD-Daten können die Einschränkungen bei der Verwendung nur einer Analysen-methode einfach überwunden werden.
Im hier gezeigten Beispiel wurde eine Probe von ozeanischem Gabbro (ODP 304/305 U1309D) mit Hilfe einer simultanen EBSD- und EDS-Messung analysiert. Zehn Phasen mit fünf verschiedenen Symmetrien wurden identifiziert und erfolgreich indiziert. Die Phasenidentifikation und -unterscheidung erfolgt halbautomatisch, entweder online am REM oder offline mit bereits gespeicherten Daten. Dies ermöglicht es dem Nutzer, eine Analyse erneut auszuwerten und zu korrigieren, ohne dass eine erneute Messung erforderlich ist. Die EBSD-Phasen- und Orientierungsverteilungs-Maps (Abb. 3 und 4) veranschaulichen die Fähigkeit der Software, gleichzeitig mehrere Phasen mit niedriger und hoher Kristallsymmetrie zu indizieren.