반도체 탄탈룸 실리드의 피크 오버랩 해결
탄탈룸 실리시드는 마이크로 일렉트로닉스 및 광학 분야에서 산화 또는 내온 성 코팅에 사용됩니다. 탄탈룸 실리드도 시 웨이퍼와 같은 반도체 재료의 내화상으로 발생할 수 있다.
품질 관리 중에 높은 공간 해상도를 달성하기 위해 분석은 저가속 전압에서 수행되어야하므로 사소한 위상의 식별이 복잡해집니다. 저가속 전압에서 타M 계열 에너지라인만 생성되어 기판 Si Kα 라인과 가중하게 겹칩니다.
기본 요소의 결과EDS 피크는 약간 넓어지고 두 번째 요소의 존재를 마스킹합니다. 이에 비해 Ta와 같은 요소는 우수한 피크 해상도로 인해 QUANTAX WDS를 사용하여 자신있게 식별됩니다.
EDS에 비해 WDS의 높은 스펙트럼 해상도를 보여주는 1.6 - 1.9 keV의 에너지 영역에서 탄탈룸 실리드용 X선 스펙트럼 섹션