xProbe
AFMレベルの分解能で定量的なナノインデンテーション試験が可能
超高解像度でナノインデンテーションを
ブルカーxProbeはMEMSトランスデューサーを用いることで、オングストロームレベル領域でナノ力学特性の評価ができます。ブルカーの持つ静電アクチュエーターおよび静電容量センサー技術と最新のMEMS製造技術を用いて設計したxProbeは、荷重および変位検出でAFMレベルの低ノイズと高感度を達成しました。xProbeの高い軸方向の剛性は、高速フィードバック応答、高ひずみ速度での試験を実現。ブルカーのxProbeは定量性のある固い圧子でのナノインデンテーション、ナノトライボロジー試験におけるニュースタンダートです。
xプローブは高精度のナノメカニカルテストを行う。
定量性のある結果をオングストロームレベルで
ブルカーのxProbeはカンチレバーベースの測定システムと同じ、荷重<2nN、変位<20pmのノイズフロアを達成。xProbeでは荷重・変位のフィードバックコントロール制御、正確な荷重センサー、硬いインデンテーション圧子を用いて試験を行い、オングストロームレベルにおける信頼性の高い評価を可能にしました。
