ラマン分光法
ラマンとナノメカニカル特性の組み合わせ
力学特性と化学構造の局所分析を同時に実現
位相変換ゾーンと圧縮残留応力の領域を示すシリコンインデント上のラマンスペクトルマップ。
ブルカーはナノインデンテーションとラマン分光法の組み合わせ分析手法をご提供します。この手法により、ナノインデンテーションによる得られるナノスケールの力学特性評価結果が化学構造に依存するものかどうかをシームレスに確認することが可能です。分子の振動状態をラマン分光法で分析することにより、「物質の分子指紋」を得ると同時にナノインデンテーションにより、「物質の力学特性の指紋」を得ることが可能です。また、In-situラマンマッピングをナノ力学測定前に行うことで、化学構造に基づいた力学測定箇所の正確な位置決めが可能となり、試験後に行うことで、塑性変形により生じる内部の応力分布を評価することが可能です。ラマンマッピングはin-situ SPMイメージング、モジュラスマッピング、導電性マッピングと同時に自動的に取得することもできます。
ラマン分光法アップグレードオプションは、ブルカーのすべてのトライボインデンターに搭載することが可能です。そのことにより、ナノ力学特性と化学構造情報を組み合わせてソリューションを得ることが可能です。これら2つの分析手法はエンコードステージの高い精度により、100nmの空間的相関性があります。ブルカーは様々なお客様のニーズにお応えするため、システムに様々なレーザー源や分光計を適用できるよう、製品設計にモジュール方式を採用しています。
