nanoECR
In-Situで電気接触抵抗を測定
ナノインデンテーションと同時に導電性の評価ができます
位相変換中の抵抗率の変化を示す、インデントからの電流測定値とSiへの相関電流の曲線との関係。
ナノインデンテーションと電気接触抵抗評価の組み合わせにより、ブルカーはナノスケールの領域における接触抵抗の変化と材料の変形挙動の同時観察という新たなツールをご提供します。導電性のナノインデンテーション圧子に流れる電流を検出し、試料表面のナノスケールの電気特性を力学特性と同時に評価します。I-V特性を定量的に評価できることで、薄膜の割れ、破壊による過渡現象、接触抵抗、疲労、ダイオードの特性、トンネル効果、圧電応答、相変態など様々な挙動が観察できます。
単一のインデント実験中に異なる負荷で得られる一連の電流電圧(I-V)曲線。
電気特性とナノインデンテーションのin-situ測定技術
ブルカーは、 試料バイアスステージから導電性圧子を通じてくる電流を検出できる導電パスを追加した静電容量型トランスデューサーを開発。これにより、電気接触の特性をナノインデンテーションの荷重、変位検出と同時に行うことができる、nanoECR技術の開発に成功しました。フィードバックコントロール制御により、nanoECRは精密に制御された荷重、変位下でナノスケールの電圧一定もしくはI-Vスイープの測定を行うことが可能です。
