EBSDサンプルにおける前方散乱電子(FSE)および後方散乱電子(BSE)の超高速イメージング
ARGUSシステムのみで実現する最高の画質
ARGUSイメージングシステムは、超高品質のシリコンダイオードの独創的なアイデア[A.P.Day et all]、優れた品質と詳細情報を持つFSEとBSE画像を提供する信号処理技術の組み合わせによって実現しています。ARGUS が現在利用可能な最良のソリューションを作る主な機能は次のとおりです。
- FSE - 鮮やかな偽色方位コントラストイメージング
- BSE - 「位相コントラスト」イメージングとして知られる高品質の「平均z数」
- 最大125,000ピクセル/秒の速度でのイメージング
- ESPRIT ソフトウェアでの高速かつ完全自動信号最適化
- 信号増幅のエレクトロニクスはEBSD検出器に完全に統合され、外部ボックスが不要
- ユーザー交換可能なダイオード
ARGUSイメージングシステム
タービンブレード上の遮熱コーティングの断面のBSE画像における位相コントラスト
加法製造(AM)されたステンレス鋼の方位コントラスト
上記の ARGUS 仕様は、様々な ESPRIT ソフトウェア機能と組み合わせて、様々な種類のアプリケーションに強力なメリットをもたらします。
- in-situ実験中のサンプルの時間分解可視化 (例: in-situ引張および圧縮試験 – ESPRIT TRM )
- EBSD マッピング中の正確なドリフト補正 – ESPRIT Drift Correction (ドリフト補正機能)
- 非常に高速な EBSD マッピングの代替 – Rapid EBSD
- 結晶中の非常に低い方位変化と磁区の可視化
アプリケーションの例
ARGUSイメージングシステムが提供するメリットとアプリケーション例の詳細については、以下の画像ギャラリーまたはBruker Nano Analytics YouTubeチャンネルの関連ビデオをご覧ください。
図1:様々な元素組成を有する複数相を示すタービンブレード上の熱バリアコーティングのARGUS BSE画像 (平均z-数)。
図2:付加製造(AD)されたオーステナイト系ステンレス鋼サンプルのARGUS FSE画像は、非常に異種の微細構造と、この製造プロセスの反復性に起因するパターンを明らかにします。色の変化は、結晶の向きの変化に関係してます。
図3:変形したCuのARGUS FSE画像
図4:650°Cで8時間アニールされた二重鋼サンプルのARGUS FSE画像。元のバンド構造はフェライト、シグマとカイのフェーズのクラスターによって分離される大きいオーステナイトのグレインバンドとして見ることができます。
図5:HysitronピコインテンダーPI 89でのインデント後の共合金サンプルのARGUS FSE画像。複数のスリップシステムの活性化を示す結晶学的起源の特徴が、3時、9時、12時のインデントの近傍に見えます。
図6:in-situ圧縮試験後の AZ31 サンプルのARGUS FSE画像(左)とその後の引張試験(右)。圧縮試験中に起こった広範な基底双晶が左上隅に見ることができます。ほとんどの双晶は、引張試験プロセス中にサンプルの領域から姿を消しまし。
図7:12Mpixel、多結晶試料の低倍率ARGUS FSE画像; 左側の画像は生データで、右側の画像はスキャンの最後にESPRIT 2ソフトウェアによって自動バックグラウンド減算されたものです。画像は3分程度で取得されました。
図8:パターン化されたサファイア基板上に堆積したAlGaN単結晶層のARGUS FSE画像。観察された色の変化により表面の地形のコントラストが強く見えます。
図9:同じ領域のARGUS FSE画像は図8と同じですが、ARGUSダイオードを配置して、はるかに高い取り出し角で前方散乱電子を捕捉します。このようなサンプル検出器のジオメトリは、地形のコントラストの強度を低下させ、微細構造特徴の可視化を可能にします。この場合、ハニカムパターンのサファイア基板との界面から生じる層内の残留歪みによって生成されるハニカム構造を観察することができます。
図10:間に小さなフェライト粒を有する大きなマルテンサイト領域を示す焼結マルテンサイト鋼のARGUS FSE画像。