带扫描探针显微镜成像功能的原位 SEM 纳米力学测试
在原位SEM纳米力学测试中同时实现基于PI89力反馈的样品表面形貌成像
布鲁克先进的 Hysitron® 扫描探针显微镜（SPM）现可用于Hysitron PI 89 SEM PicoIndenter的原位扫描电子显微镜（SEM）。通过使用传感器闭环控制中的压电驱动扫描台，探针可相对样品进行纳米级精度的快速逐行扫描。由此形成了基于力反馈的样品表面形貌成像。
（a）大块金属玻璃上原位纳米压痕的 SEM 图像；（b）原位纳米压痕的 SPM 图像；和（c）压痕轮廓可以量化由滑移带形成的堆积体积和台阶。
（a）大块金属玻璃上原位划痕的 SEM 图像；（b）原位微划痕的 SPM 图像；和（c）划痕轮廓可以量化由滑移带形成的堆积体积和步数。
尽管在 SEM 中可以通过二次电子成像查看高分辨率的表面特征，但获取定量形貌数据仍具有难度。SPM 可使用与进行压痕测试的相同探针对样品表面进行成像，从而解决上述问题。这样就得到了样品准确的高度信息和表面粗糙度等相关参数。此功能对于分析测试后形变（如从纳米压痕和划痕中测量堆积或沉陷）也极为实用。
