使用 SEM 的大面积面分析(超地图)可能会因标准 SEM 样品台的缓慢移动而受阻。而且,由于电子束的不稳定和分析过程中样本相互作用,在低放大倍率下存在潜在的 X 射线信号强度缺陷。这种现象在 WDS 分析中更为常见,有时候也可以在 BSE 图像或 EDS 元素强度图中观察到。
快速样品台专为 SEM 设计,可实现超过毫米到厘米等级的大样品大面积面分析。这将消除与低放大率面分析相关的潜在问题,而且,由于样品台的移动速度增加,之前测试时间成本较高的矿物学样品也可以进行测试了。快速样品台还可以与微区 XRF配合使用。
单独快速样品台的最大分析面积为 50 mm x 50 mm,它还可以与 SEM 原始样品台搭配使用,实现满足 SEM 腔室更大面积的分析。传统上,使用 SEM 的传统大面积分析方法(将许多图片镶嵌在一起以创建大面积拼图)其中每个单独的区域都通过栅格让电子束进行面分析。而与样品交互的 X 射线光源则处于固定位置,因此不能使用标准 SEM 电子束所用的栅格进行处理。
因此,所有面分析都需要通过样品台控制(就是样品台运动)。将 SEM 样品台从一点移动到另一点时,快速样品台使大面积的面分析速度几乎快一个数量级。图 1(混凝土)、图 2(Cu 矿)和图 3(土壤基岩)为示例。