勘探和采矿的双源（电子束源和X射线源）应用：含金的浅成热液样品
微区 XRF与SEM的结合使得 在单个系统中能够以多个尺度分析样品，从厘米到毫米到微米甚至微米以下。因此，通过将微区XRF添加到SEM上，将SEM转换为双源系统，这意味着有两个信号激发源，即电子束和X射线光子束。任何一个源都可以单独使用，也可以同时用于生成样品特征 X 射线，样品将使用相同的 EDS 探测器进行测量。此外，可以利用每种分析技术的好处：（一） XRF 源的背景非常低，这意味着可以观察到低至 10 ppm的元素浓度（与元素和样品基体相关），以及更大的信息深度，这意味着可以查看样品表面下面的结构或元素。例如，即使在非常低浓度时，也可以检测到表面下的内含物;（二） 电子束可以聚焦到极小的区域，并产生极高分辨率的信息。
这种组合现在可以在单个系统中创建新的工作流。 例如，可以快速扫描一个大的岩石样本，在这种情况下，使用微区XRF分析一个来自Karangahake 浅成热液的含金样品，可以确定含Au 的晶粒（图 1 和 2）。 随后，可以利用电子束以更高的分辨率分析这些我们"感兴趣区域"（图3）。 因此，这种双光束系统可以同时识别大尺度（厘米至毫米）的相关信息，又能高效、准确地执行详细的小尺度（mm 到 μm）分析。
图1：SEM-XRF HyperMap 图展示Au覆盖区域。样本来自新西兰的卡兰加哈克金矿。 分析区域约为 45 x 45 mm2。
图2：左侧为Au-Lα线的SEM-XRF元素强度图。由于Au-Lα 和 Zn-Kβ 峰位重叠，但这些重叠峰值的解卷积是正确的，因为如右侧的光谱图像所示，这些图像证实了 Au-Lβ 线的存在，所以这些颗粒是含金的。中间图面积为 45 x 45 mm2。
图3：左侧为Au-Lα线的SEM-XRF元素强度图。 在选定的小区域里，我们用SEM-EDS 进行分析，这提供了更高的空间分辨率，并突出显示金与周围硫化物之间的关系，例如Gelena （PbS）、Sphalerite （ZnS）、黄铁矿 （FeS2） 和Chalcopyrite （CuFeS2）。 左侧图面积为 45 x 45 mm2。