MoS2 样品中重叠峰的自动谱峰剥离和量化
图1：MOS2的SEM图像和点分析能谱
二硫化钼（MoS2）是一种工业上重要的材料，因为它是钼的主要矿石。它具有广泛的应用，例如汽车和机械加工的固体润滑剂，化学工业的催化剂，半导体工业的间接带隙材料。
EDS 光谱中具有强重叠峰的材料的解卷积和定量一直是分析方面的难点。MoS2中硫的 K 线与钼的 L 线具有强烈峰重叠。我们使用XFlash® FlatQUAD，布鲁克一种特殊的高性能EDS探测器获得MoS2的EDS点分析能谱（图1所示）。使用布鲁克的ESPRIT2分析软件对光谱进行解卷积和定量。ESPRIT强大的解卷积和拟合方法能够正确识别和拟合各个峰值的重叠情况（图 2，图 3）。能谱的无标样定量使Mo和S的原子浓度非常接近测量浓度。
图2：MOS2的解卷积、峰值拟合和定量
图3：Mo和S的个别峰值不符合获得的光谱