CryoSAS
System kriogeniczny do analizy krzemu
System kriogeniczny do analizy krzemu (CryoSAS) firmy Bruker Optics to dedykowany system all-in-one do analizy zanieczyszczeń krzemu w niskiej temperaturze (< 15 K). CryoSAS jest zoptymalizowany pod kątem pracy w środowisku przemysłowym.
CryoSAS łączy wysokowydajne spektrometry FT-IR firmy Bruker z wbudowaną techniką chłodzenia kriogenicznego w cyklu zamkniętym, która nie wymaga ciekłego helu. W CryoSAS wykorzystywane są najnowocześniejsze komponenty, ale wykorzystujące sprawdzone technologie, aby wykonać trudną analizę w wymagającym środowisku produkcji krzemu. CryoSAS może być obsługiwany na wysokim poziomie automatyzacji, łącznie z dokładnym raportowaniem wyników analizy.
Skontaktuj się z naszym zespołem sprzedaży już dziś, aby dowiedzieć się więcej o CryoSAS!
Wybrane cechy:
Wysoka czułość:
CryoSAS analizuje płytkie zanieczyszczenia (np. bor, fosfor itp.) do niskiego poziomu ppta zgodnie z normą ASTM/SEMI MF1630. Ponadto, analizuje jednocześnie węgiel i tlen do niskiego poziomu ppba zgodnie z normą ASTM/SEMI MF1391.
Kriogeniczny system chłodzenia o zamkniętym cyklu: nie potrzeba kosztownych kriogenów płynnych
Wysoce niezawodny system kriochłodzącego cyklu zamkniętego do chłodzenia detektora i komory próbki. W porównaniu z płynnym systemem chłodniczym chłodzonym helem, system zamkniętych cykli może zaoszczędzić 50 000 € kosztów eksploatacji rocznie, a nawet więcej.
Konstrukcja komory pomiarowej ze stali nierdzewnej:
łatwy dostęp do próbek
Sprawdzona konstrukcja komory pomiarowej z optyką stacjonarną i zautomatyzowaną głowicą próbki. Duża średnica wewnętrzna komory pomiarowej umożliwia łatwy dostęp do uchwytu próbki.
Sucha pompa wstępna i pompa turbo:
prosta i czysta praca systemu próżniowego
Szybkie i niezawodne odpompowanie próżni za pomocą pompy turbo i suchej pompy wstępnej.
Solidny, precyzyjny stolik z silnikiem krokowym, z dziewięciopozycyjnym uchwytem na próbki:
Solidny stolik połączony z uchwytem na próbki umożliwia analizę wielu próbek. Silnik o wysokim momencie obrotowym i solidny mechanizm przesuwu zapewniają precyzyjne indeksowanie próbek i lata niezawodnej funkcjonalności. Próbki są łatwo umieszczane i usuwane, a uchwyt na próbki jest w prosty sposób umieszczany w komorze pomiarowej. Pozłacana, OFHC miedziana konstrukcja uchwytu na próbki zapewnia jednolite temperatury.
Łatwość użycia:
CryoSAS jest zoptymalizowany pod kątem pracy w środowisku przemysłowym. Wszystkie urządzenia próżniowe i chłodnicze są sterowane przez sterownik PLC. Chłodzenie i rozpoczęcie pomiaru odbywa się za naciśnięciem przycisku. Użytkownik NIE musi być ekspertem od spektroskopii lub próżni.
Dedykowane oprogramowanie CryoSAS zostało zaprojektowane tak, aby zaspokoić potrzeby przemysłowej kontroli jakości. Jest łatwe w użyciu i może być obsługiwane za pomocą ekranu dotykowego. Użytkownik musi tylko wybrać żądaną metodę analizy, wprowadzić przykładowe informacje i nacisnąć przycisk start. CryoSAS automatycznie ochłodzi próbki, rozpocznie pomiar w podczerwieni, oceni wyniki i stworzy raport z analizy.
Specyfikacje
Zakres spektalny: 1500 – 280 cm-1 zoptymalizowany do wykrywania
- grupy III i V płytkie zanieczyszczenia w pojedynczym krysztale Si zgodnie z ASTM/SEMI MF1630. Dla próbek zaklinowanych o grubości ok.
3 mm, można osiągnąć następujące limity wykrywalności:
- 10 ppta fosfor
- 30 ppta bor - węgla substytucyjnego zgodnie z ASTM/SEMI
MF1391. Metoda ta wymaga bezwęglowej próbki referencyjnej FZ o grubości i właściwościach powierzchni porównywalnych z badaną próbką. W przypadku próbki zaklinowanej o grubości około 3 mm można wykryć stężenie węgla do 20 ppba.
