従来のプロセス管理には据置型装置であるWDXが主に用いられていましたが昨今の半導体検出器の発展により、よりコンパクトかつ簡便なEDXが様々な場面で用いられるようになりました。しかし、得られるデータにはそれぞれの光学系の特徴が反映されており、同一な分析データが得られるものではありません。このWebinarでは、WDXとEDXそれぞれの光学系の特徴をご紹介するとともに、得意・不得意なアプリケーション事例をご紹介します。また、最新WDX装置S8 TIGER Series 2 を用いた微小部測定例もご紹介し、微小部分析におけるWDX装置とEDX装置の得手不得手の点についてもご案内します。
This webinar is held in Japanese.