XFlash FlatQUAD
Uso de la última tecnología detectora
El XFlash® FlatQUAD, el núcleo de QUANTAX FlatQUAD,se basa en un nuevo concepto de detector. Esto incluye la colocación del detector desde el lado entre la pieza del polo y la muestra. Por lo tanto, el detector está montado en un puerto horizontal en la cámara SEM. Los detectores convencionales, que rara vez se extienden por debajo de la pieza del polo requieren un puerto inclinado. Para garantizar la compatibilidad con muchos tipos de SEM diferentes, el detector se puede colocar con precisión en la dirección X, Y y Z.
Los cuatro chips detectores de deriva de silicio independientes del XFlash® FlatQUAD están en una disposición anular alrededor de un agujero en el módulo detector. El haz de electrones primario pasa a través de esta abertura. Este diseño, así como la intención de mantener el dedo detector lo más delgado posible, requieren un nuevo método para evitar que los electrones retrobatos lleguen a las virutas del detector. El detector está equipado con ventanas especiales de polímero de espesor variable. Absorben los electrones retrosonados mientras permiten el paso de los rayos X. Las ventanas de polímero se montan en un deslizador que permite cambiarlas sin afectar al vacío. Esto permite cambios de voltaje de aceleración SEM mientras el detector está en posición de medición.
Excelente ángulo sólido y capacidad de velocidad de recuento
La posición y el tamaño (4 × 15 mm2 área activa) de las virutas detectoras proporcionan el ángulo sólido más grande para la colección de rayos X en un SEM. Dependiendo de las condiciones geométricas específicas más de 1 sr es posible en combinación con un ángulo de despegue alto de 60o o más. La eficiencia de la colección puede conducir a tasas de recuento extremadamente altas. Por lo tanto, los cuatro chips detectores están equipados con canales de procesamiento de señal separados. Esto permite velocidades de recuento de entrada (ICR) de hasta 4.000.000 cps y una tasa de recuento de salida combinada (OCR) de hasta 1.600.000 cps. El XFlash® FlatQUAD proporciona una excelente resolución de energía de 126 eV a Mn K y una velocidad de recuento de entradas de 100.000 cps (51 eV a C K y 60 eV a F K). También hay disponibles clases de resolución de 129 eV y 133 eV.
