ESPRIT Quant
Dieses Paket enthält eine Reihe von Werkzeugen für die standardlose und standardbezogene quantitative Spektrenauswertung. Die bewährte P/B-ZAF-Methode ist für eine standardlose EDS-Analyse verfügbar. Die standardlose P/B-ZAF-Quantifizierung basiert ausschließlich auf Daten, die von den Spektren selbst abgeleitet werden. Sie verwendet keine vordefinierten Profile oder ähnliche Hilfsmittel, die auf der Festplatte gespeichert sind. Bei Micro-XRF für das REM wird die standardlose Fundamental Parameter-Methode verwendet, die auf der Sherman-Gleichung basiert.
Die standardlose EDS-Quantifizierung enthält den TQuant-Algorithmus für die Quantifizierung von Leichtelementen und Elementlinien im niedrigen Energiebereich. Die Standardanalyse von polierten Proben kann mit der Korrektur von Φ (ρ,z) durchgeführt werden. In Fällen, in denen keine geeigneten Elementstandards verfügbar sind, bietet ESPRIT Quant eine sogenannte hybride Quantifizierung an: Die Konzentrationen dieser Elemente werden standardlos bestimmt, während die übrigen nach Standards quantifiziert werden.